真空压力记录器在较高压力时(105~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。 在103~10-2Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
表2 真空计的适用压力范围
真空计的名称 |
可测的压力范围(Pa) |
水银压力计(U型管) |
105~102 |
油压力计(U型管) |
105~102 |
油压力计(U型管) |
3*103~1 |
麦克劳真空计(一般型和特殊型) |
103~10-3 |
弹性变形真空计 |
105~102 |
隔膜真空计(机械式) |
105~102 |
隔膜真空计(电气式) |
105~10-3 |
电离真空计(三极管型) |
10-1~10-5 |
超高真空用B-A型 |
10-2~10-6 |
极高真空用热阴极磁控计 |
10-5~10-10 |
高真空用(舒尔茨型) |
10~10-2 |
冷阴极真空计 |
1~10-5 |
皮拉尼真空计 |
104~10-2 |
热电偶真空计 |
102~10-1 |
热敏电阻真空计 |
102~10-1 |
粘性真空计 |
1~10-5 |
克努曾真空计 |
10-1~10-5 |
复合真空计由电阻单元和ZJ-10热阴极电离单元组成,可测范围从高真空至大气压。可接一到两路电阻规和一路电离规。电阻单元采用定温测量法,精度高、响应快。采用全数字化校准方法,无需工具即可完成电阻规的校准。在自动模式,电离单元可通过电阻单元自动控制开启和关闭,防止热阴极电离规在低真空状态下开启导致损毁。 仪器集成了模拟输出、继电器控制、串口通讯等功能,适合用于自动化要求较高的真空设备。
技术参数
◆ 配用规管:ZJ-52T电阻规和ZJ-10电离规 ◆ 测量范围:1.0x105 ~ 3.0x10-4 Pa ◆ 有效范围:2.5x103 ~ 3.0x10-4 Pa ◆ 控制范围:2.5x103 ~ 3.0x10-4 Pa ◆ 控制输出形式:继电器触点输出,常开+常闭 ◆ 继电器负载:3A/220VAC,无感负载 ◆ 继电器路数:4,可任意指定控制单元 ◆ 模拟输出形式:0~10V,0~5V,4~20mA可选 ◆ 串行通讯:RS-232或RS-485,Modbus-RTU协议 ◆ 显示:两组5位数码管,科学记数法显示 ◆ 刷新时间:0.5秒 ◆ 供电电源:220VAC/50Hz ◆ 额定功率:35W ◆ 使用环境:-10~40℃,湿度小于85% ◆ 外形尺寸:240*88*255mm ◆ 仪器重量:约2Kg
|